Wafer die's yield model (10-20-40mm) - Version 2 - DE


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Größe:
3000 x 1000 Pixel (167886 Bytes)
Beschreibung:
Drei Beispiele für die Änderung der Ausbeute auf einem 300-mm-Wafer in Abhängigkeit von der Die-Größe (oben: 10 mm × 10 mm; mitte: 20 mm × 20 mm; unten: 40 mm × 40 mm). Bei gleicher Defektanzahl (roter Punkt) verringert sich die Anzahl der defekten Chips (gelb) und es ergeben sich Ausbeuten von 94,2 %, 75,7 % bzw. 35,7 %.
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