Semiconductor photomask
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Stepper (Halbleitertechnik)Ein Stepper ist in der Halbleitertechnik ein Anlagentyp bzw. ein Funktionsprinzip zur fotolithografischen Strukturierung einer Fotolackschicht, einem der wichtigsten Teilprozesse der komplexen Herstellung von integrierten Schaltkreisen, auch Mikrochips genannt. Wichtigstes Merkmal von Steppern ist die Belichtung des Wafers in mehreren gleichen Schritten mit einer Maske. Wafer sind dünne Halbleiterscheiben, auf deren Oberfläche die integrierten Schaltkreise aufgebaut werden. Weitere Belichtungsverfahren sind die 1:1-Belichtung und die Belichtung mittels Scanner-Anlagen. .. weiterlesen
FotomaskeFotomasken sind Projektionsvorlagen, deren Hauptanwendung die fotolithografische Strukturierung bei der Herstellung von mikroelektronischen Schaltungen oder Mikrosystemen ist. Sie bestehen üblicherweise aus hochreinem Quarzglas oder Calciumfluorid und sind beispielsweise auf einer Seite mit einer dünnen strukturierten Chromschicht versehen. .. weiterlesen