Schema Magnetonsputtern
Autor/Urheber:
Sandro Knauß; Ursprungsbild: Cepheiden
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Quelle:
Größe:
448 x 305 Pixel (56154 Bytes)
Beschreibung:
Schematischer Aufbau des Magnetonsputterns: Im ersten Schritt werden die Argonatome durch das Plasma ionisiert und auf das Target beschleunigt. Dadurch werden Targetionen herausgeschlagen, die aufgrund ihrer Ladung zum Substrat fliegen und sich dort anlagern.
Lizenz:
Credit:
selbst gezeichnet auf der Basis de:File:Schema_einer_Sputterkammer.svg
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