Overlay vektor map - wafer rotation error DE

Autor/Urheber:

Cepheiden

Attribution:

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Shortlink:

https://www.dewiki.de/b/5abee

Quelle:

Wikimedia Commons

Größe:

920 x 920 Pixel (26965 Bytes)

Beschreibung:

Beispiel für eine Overlay-Vektorkarte bei der nur 9 Belichtungsfelder gemessen wurden. Dargestellt ist der Fall einer Waferfehlausrichtung um 10° plus einem zufälligen Fehler.

Lizenz:

CC BY-SA 3.0

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Weitere Informationen zur Lizenz des Bildes finden Sie hier. Letzte Aktualisierung: Wed, 18 Sep 2024 12:27:22 GMT

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