Overlay - reticle rotation

Autor/Urheber:

Cepheiden

Attribution:

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Shortlink:

https://www.dewiki.de/b/5abea

Quelle:

Wikimedia Commons

Größe:

920 x 1000 Pixel (15827 Bytes)

Beschreibung:

Beispiel für Overlay-Fehler durch eine Drehung des Reticles an einem Stepper-Belichtungsanlage. Zur Vereinfachung ist ein Ausrichtungsfehler der ersten Maske durch eine Drehung des Reticles gegenüber dem Wafer um 5° dargestellt.

Lizenz:

CC BY-SA 3.0

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Weitere Informationen zur Lizenz des Bildes finden Sie hier. Letzte Aktualisierung: Wed, 18 Sep 2024 12:26:58 GMT

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