Ionengetterpumpe Animation

Autor/Urheber:

Schmidti

Attribution:

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Shortlink:

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Quelle:

Wikimedia Commons

Größe:

400 x 400 Pixel (1584431 Bytes)

Beschreibung:

Vereinfachte Darstellung der Wirkungsweise einer Ionengetterpumpe

Lizenz:

CC BY-SA 4.0

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Weitere Informationen zur Lizenz des Bildes finden Sie hier. Letzte Aktualisierung: Mon, 29 Apr 2024 16:15:21 GMT

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Die Ionengetterpumpe, auch Ionenzerstäuberpumpe oder Getter-Ionenpumpe genannt, ist eine Form der Vakuumpumpe. Bei dieser Sonderform der Sorptionspumpe werden die Restgaspartikel durch Elektronenstoß ionisiert und durch ein elektrisches Feld auf eine Oberfläche beschleunigt. Dort können sie chemisch gebunden oder implantiert werden und sind damit dem Restgas entzogen. Beim Auftreffen der Ionen auf die Oberfläche werden Elektronen freigesetzt, diese können weitere Restgaspartikel ionisieren. Chemisch reaktive Moleküle werden auch ohne vorherige Ionisation beim Auftreffen auf ein Gettermaterial gebunden. Die Pumpe befördert das Restgas demzufolge nicht aus der Vakuumkammer, sondern hält die gepumpten Atome nur an den Pumpeninnenflächen fest bzw. „vergräbt“ sie im Metall. Daher hat die Ionengetterpumpe auch keine Gasauslassöffnung. .. weiterlesen