Horizontal oxidation furnace (DE)

Autor/Urheber:

Cepheiden

Attribution:

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Shortlink:

https://www.dewiki.de/b/9bfbd

Quelle:

Wikimedia Commons

Größe:

600 x 300 Pixel (41934 Bytes)

Beschreibung:

Schematischer Aufbau eines horizontalen Oxidationsofens für den wahlweisen Betrieb mit Sauerstoff (trockene Oxidation) und Wasserdampf (nasse Oxidation).

Lizenz:

CC BY-SA 3.0

Credit:

Eigenes Werk
Drawing referencing to Ulrich Hilleringmann: Silizium-Halbleitertechnologie. Vieweg+Teubner Verlag, 2008, ISBN 9783835102453, p. 27

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Weitere Informationen zur Lizenz des Bildes finden Sie hier. Letzte Aktualisierung: Fri, 29 Apr 2022 13:37:50 GMT

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