Fertigungsschritte


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Größe:
360 x 434 Pixel (10568 Bytes)
Beschreibung:
Auf dem CMOS-Wafer (a) wird eine Opferschicht aufgetragen (b), geätzt (c), mit Polysilizium gefüllt (d), das wiederum durch Ätzen strukturiert wird (e).
Lizenz:
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