Dual-Damascene-Prozess (Trench First; Schautafel)
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1450 x 1450 Pixel (77976 Bytes)
Beschreibung:
Schematische Darstellung der TFVL-Dual-Damascene-Prozesses, TFVL steht hierbei für engl. Trench First, Via Last, dt. „Graben zuerst, Via zuletzt“
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