Hexachlordisilan

Strukturformel
Allgemeines
Name	Hexachlordisilan
Andere Namen	1,1,1,2,2,2-Hexachlordisilan Disiliziumhexachlorid HCDS
Summenformel	(SiCl3)2
Kurzbeschreibung	farblose Flüssigkeit[1]
Externe Identifikatoren/Datenbanken
CAS-Nummer 13465-77-5 EG-Nummer 236-704-1 ECHA-InfoCard 100.033.353 PubChem 83497 Wikidata Q15546028
Eigenschaften
Molare Masse	268,89 g·mol−1
Aggregatzustand	flüssig[1]
Dichte	1,562 g·cm−3 (25 °C)[1]
Schmelzpunkt	2,5 °C[2]
Siedepunkt	144–145,5 °C[1]
Brechungsindex	1,475 (20 °C)[1]
Sicherheitshinweise
GHS-Gefahrstoffkennzeichnung [1] Gefahr H- und P-Sätze H: 314 P: 280​‐​305+351+338​‐​310 [1]
Soweit möglich und gebräuchlich, werden SI-Einheiten verwendet. Wenn nicht anders vermerkt, gelten die angegebenen Daten bei Standardbedingungen. Brechungsindex: Na-D-Linie, 20 °C

Hexachlordisilan ist eine chemische Verbindung aus der Gruppe der chlorierten Silane.

Gewinnung und Darstellung

Hexachlordisilan kann (wie alle Perchlorsilane Si_nCl_2n+2 mit n = 2-6) durch Reaktion von Calciumsilicid mit Chlor bei 230 bis 250 °C gewonnen werden.^[2]

${\displaystyle \mathrm {CaSi_{2}+4\ Cl_{2}\longrightarrow Si_{2}Cl_{6}+CaCl_{2}} }$

Ebenfalls möglich ist die Darstellung durch Reaktion von Siliciumdichlorid oder Silicium mit Chlor.^[2]

${\displaystyle \mathrm {2\ SiCl_{2}+Cl_{2}\longrightarrow Si_{2}Cl_{6}} }$

${\displaystyle \mathrm {2\ Si+3\ Cl_{2}\longrightarrow Si_{2}Cl_{6}} }$

Eigenschaften

Hexachlordisilan ist eine farblose, an Luft rauchende, hydrolyseempfindliche klare Flüssigkeit.^[2]

Verwendung

Ultrahochreines Hexachlordisilan wird in der Halbleiterindustrie für die chemische Gasphasenabscheidung von siliciumhaltigen funktionellen Schichten, bei sehr niedrigen Temperaturen, eingesetzt. Anlagen zur Herstellung stehen zum Beispiel im badischen Rheinfelden.^[3]

Einzelnachweise

1. ↑ ^{a b c d e f g} Datenblatt Hexachlorodisilane, 96% bei Sigma-Aldrich, abgerufen am 4. Januar 2014 (PDF).
2. ↑ ^{a b c d} Georg Brauer (Hrsg.), unter Mitarbeit von Marianne Baudler u. a.: Handbuch der Präparativen Anorganischen Chemie. 3., umgearbeitete Auflage. Band I, Ferdinand Enke, Stuttgart 1975, ISBN 3-432-02328-6, S. 669.
3. ↑ Spezialchemie: Bau einer Spezialchemie-Anlage für Elektronikchips gestartet - Evonik Industries - Spezialchemie, abgerufen am 5. Januar 2014.